iPhone  汽车  国际  三星  集成吊顶  仿古砖  汽油价格  百度  电影  银行卡 
 
企业新闻  |  财经金融  |  行业数据  |  家居生活  |  创业指南  |  国内消息  |  国际消息
 
首页 » 资讯 » 行业数据 » 机械器材 » 正文»半导体湿法工艺中的阀门应用
 

半导体湿法工艺中的阀门应用

放大字体  缩小字体时间:2022-01-03 13:35

蚀刻(Etch)是半导体加工中非常重要的一环,一般分为干法蚀刻和湿法蚀刻,其中湿法蚀刻涉及具有腐蚀性的化学药液和高纯水,对于介质流经的管路阀门等有较高标准的规定。


湿法蚀刻和清洁


湿法蚀刻:


把硅片浸泡在化学药液中,使没有被抗蚀剂掩蔽的那一部分薄膜表面与药液发生化学反应而被除去,这里涉及到的化学药液具备很强的腐蚀性,而整体工艺流程中也需要严格控制可能产生的颗粒物。



晶片清洁:


在蚀刻过后,需要用高纯水对晶片表面进行清洁工作,清洁流程中同样对阀门的流量、死区以及颗粒物残留等有严格规定。

GEMÜ CleanStar系列阀门应用



针对半导体湿法工艺中的蚀刻和清洁,GEMÜ CleanStar系列能够很好的解决以上提到的问题。


GEMÜ CleanStar系列C60 HPW


特点
• 特别适合高纯度介质
• 无金属
• 高流通能力
• 锁紧螺母/Flare接口兼容其他HP产品
• 洁净室条件下制造


优点
• 最小污染
• 高流量规格
• 高Kv /Cv值
• 死区小
• 任意流动方向
• 也有T型阀,从而节省T型接头和所占空间
• 可选带ECTFE锁紧螺母的阀门


CleanStar系列阀门的阀体材质具备多重选择,其中针对化学药液一般会使用PFA材质的阀体,而用于高纯水的阀体材质则是PVDF。这俩种材质都具备高化学耐受性,在使用过程中,能够最大程度避免与介质发生反应,从而减少颗粒物的沉淀生成。


此外,CleanStar系列阀门的高流通性以及死区小的特点,也能使得介质在管道中保持恒定的流动,避免颗粒的聚集,双管齐下,最大程度的保障了湿法工艺中的高标准。

 
 
 
精彩视窗
 
以上就是对半导体湿法工艺中的阀门应用的要点介绍,希望对大家了解半导体湿法工艺中的阀门应用有所帮助。如果您认为此信息侵犯了您的合法权益,请您将相关资质证明和您的权利要求发送至邮箱uqihui@qq.com,工作人员24小时内处理。欢迎大家投稿及信息合作;本文链接:http://www.utmaoyi.com/news/133683.html
 
 
您可能感兴趣的
 
您可能感兴趣的产品

 
 

 
增值电信业务经营许可证  工业和信息化部ICP (晋ICP备19011392号)